Camera Moduh3e
高速, 高分辨率相机

-分辨率 : FHD, HD

-接口方式 : PoC

-Size(WxHxD)：31x31x32.2 mm 最多可连接4个相机

Thermal imaging camera
超小型·经济型

-测定温度 : -40℃~300℃

-通信方式 : RS-232C

-分辨率 : 32 x 24 Pixel

-Size(WxHxD):  31x31x17.2mm

Smart Tag
Wafer及Carrier管理传感器标签

-使用现有Reader

-无需电池，检测FOUP内部环境

-温度/湿度/压力/振动/倾斜度传感器

-客户可定制多种形态

OPS
OHT位置识别传感器

-轨道上无滑动位置识别

-识别误差 : ±3%

-接口 : RS-232C，RS-485

Light Sensor
超小型·节能型

-测定亮度 : 最高  20000 lux

-测定角度:  140°

-接口 : RS-232C

-Size(WxHxD) ：39.8x 39.8x 17mm

Vibration Noise Sensor
振动/噪声监测装置

- 振动 2CH,，噪声 2CH

- S/R : 振动 1kHz, 噪声 32kHz

- 线缆长度: 最长 10m

- 接口 : Ethernet, USB 2.0

- Size(WxHxD) : 132 x 67x 36.8 mm

Vibration&Level Sensor
超小型振动·倾斜度测定传感器

-超小型·节能型，使用方便

-Rail, STB, OHT 异常检出用

-水平传感器 : 精密度 : ±0.2°, 样品速度 : 1kHz

-接口 : RS-232C，Bluetooth

Noise Sensor
测定作业环境用噪声传感器

-频率 : 可听频率范围 (20Hz ~20kHz)

-强度 : 最高120 dB

-接口 : RS-232C

-尺寸(宽x高x深) : 39.8 x 39.8 x 17mm